真空装置など真空が必要な箇所に使用される配管で、普通の配管に使用される配管材料と違い、強さや硬さなど機械的な特性以外に、放出ガスという真空中で材料から放出される気体が少ない材料を使用します。また、真空中で使用するためには、部品の加工段階や組立て段階などで付着する有機物（主に油成分）や埃、大気中に含まれる水分などを十分除去しなければならない。
真空配管の溶接についてはＴＩＧ溶接やレーザー溶接を用い、裏波が出るように溶接します。
溶接後にはヘリームリーク試験などで漏れが無いかチェックし、酸洗いや超音波洗浄等指定の方法で仕上げます。
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